การผลิตเซมิคอนดักเตอร์เป็นกระบวนการทางอุตสาหกรรมที่ต้องการความแม่นยำอย่างมากด้วยการพึ่งพาน้ำ Ultrapure ซึ่งประกอบไปด้วยเวทีแกนกลางเช่นการทำความสะอาดเวเฟอร์การถ่ายภาพการแกะสลักและการระนาบเชิงกลทางเคมี (CMP) . ระบบน้ำที่บริสุทธิ์สูงสำหรับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คาร์บอน (TOC) น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 ppb . ไอออนหรืออนุภาคที่ตกค้างใด ๆ อาจลดผลผลิตชิป ใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีเมมเบรนเซรามิกชั้นนำทั่วโลกและกระบวนการทั้งหมดของเมมเบรนการคุ้มครองสิ่งแวดล้อม TaiheES โซลูชั่นที่มีเสถียรภาพสูงสำหรับระบบการทำงานของเซมิคอนดักเตอร์เรอร์สs สนับสนุนความปลอดภัยคุณภาพน้ำอย่างมีประสิทธิภาพในห่วงโซ่อุปทานเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศ .
ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีของกระบวนการทั้งหมดของเมมเบรน
เทคโนโลยีหลักของ Taihe-"กระบวนการทั้งหมดของเมมเบรนสำหรับการรักษา osmosis ย้อนกลับสมาธิและหมุนเวียนน้ำเสีย"-ได้รับการรับรองโดยสมาคมอุตสาหกรรมเมมเบรนจีนเป็น "ระดับสูงในระดับสากล" . Ultrafiltration ") ในกระบวนการเดียวการทำให้เวิร์กโฟลว์ง่ายขึ้นอย่างมีนัยสำคัญในขณะที่เพิ่มความสามารถในการต้านการต้าน . เยื่อเซรามิก, ประดิษฐ์จากนาโนคอมโพสิต, แสดงความต้านทานต่อมลพิษ ความแข็ง .
การป้องกันแอปพลิเคชันในขั้นตอนกระบวนการสำคัญ
- การทำความสะอาดเวเฟอร์ & CMP:ระบบน้ำออสโมซิสย้อนกลับของน้ำพิเศษจะต้องกำจัดอนุภาคและไอออนของโลหะอย่างสมบูรณ์เพื่อป้องกันข้อบกพร่องของพื้นผิวเวเฟอร์ . เมมเบรนเซรามิกของ Taihe การปรับสภาพอย่างมีประสิทธิภาพจะสกัดกั้นอนุภาคที่มีความยาวสูงกว่า 0 . การทำงานของเมมเบรน RO ที่มั่นคง
- การล้างด้วยแสง:Photolithography มีความไวสูงต่อ TOC . ระบบของ Taihe ประสานเยื่อเซรามิกกับการฆ่าเชื้ออัลตราไวโอเลตเพื่อควบคุม TOC ภายใน 1 ppb ตรงตามข้อกำหนด
- การแกะสลักน้ำเสียและ CMP ซ้ำกลับมาอีกครั้ง:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1,200 mg/L ที่อัตราการกู้คืน 95% ลดการบริโภคน้ำจืดอย่างมาก .
การทำให้ฉลาดและการปฏิบัติคาร์บอนต่ำสีเขียว
Taihe รวม DCS (ระบบควบคุมแบบกระจาย) ระบบควบคุมแบบบูรณาการขนาดใหญ่เข้ากับระบบการทำให้บริสุทธิ์ด้วยน้ำ ultrapure ช่วยให้การตรวจสอบพารามิเตอร์คุณภาพน้ำแบบเรียลไทม์และการเพิ่มประสิทธิภาพพลังงาน . "การพัฒนาที่มีการใช้งานในการใช้งานของน้ำ ความต้องการในภาคเซมิคอนดักเตอร์ .
บทสรุป
เป็นกระบวนการขั้นสูง (e . g ., 5nm, 3nm) เพิ่มความต้องการคุณภาพน้ำระบบการทำงานของเซมิคอนดักเตอร์เรอร์สS จะต้องผลักดันขอบเขตความบริสุทธิ์อย่างต่อเนื่อง . การสร้างเทคโนโลยีเยื่อหุ้มเซรามิก "ขั้นสูงในระดับสากล" Taihe กำลังเร่ง R&D ในเมมเบรนเซรามิกเซรามิกที่มีความร้อนสูงกว่า เกณฑ์มาตรฐานเทคโนโลยีคาร์บอนต่ำที่เชื่อถือได้สำหรับระบบน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ .